1.電子敏感元件廢氣簡(jiǎn)述

電子敏感元件是一種能敏銳地感受某種物理、化學(xué)、生物的信息并將其轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦畔⒌奶胤N電子元件。電子敏感元件是傳感器的核心元件。隨著電子計(jì)算機(jī)和信息技術(shù)的迅速發(fā)展，電子敏感元件的重要性日益增大，帶動(dòng)了電子敏感元件制造行業(yè)快速發(fā)展，行業(yè)規(guī)模迅速擴(kuò)大，技術(shù)水平提升，有力推動(dòng)了我國信息化建設(shè)和經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展。但是電子敏感元件在制造生產(chǎn)過程會(huì)產(chǎn)生廢氣污染物，其污染物主要為氫氟酸、氨氣、非甲烷總烴等廢氣污染物。這些污染物如果未經(jīng)過凈化處理，直接排放進(jìn)入大氣，不但對(duì)環(huán)境造成了嚴(yán)重污染，還嚴(yán)重危及周邊居民的身體健康。因此，必須對(duì)電子敏感元件廢氣進(jìn)行凈化處理后達(dá)標(biāo)排放。

1.1電子敏感元件廢氣來源及成分

氫氟酸酸霧：清洗工序使用氫氟酸溶液，產(chǎn)生酸霧，主要污染因子為氟化氫。

氨氣：PECVD（等離子化學(xué)氣相沉積）工序原理是采用進(jìn)氣管計(jì)量將硅烷和氨氣通入 PECVD 管內(nèi)，通過化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生氮化硅。該工序產(chǎn)生含氨氣的廢氣，主要污染因子為氨氣。

有機(jī)廢氣：絲印燒結(jié)工序產(chǎn)生少量有機(jī)廢氣，主要污染因子為非甲烷總烴。

2.電子敏感元件廢氣處理方法

電子敏感元件制造生產(chǎn)過程產(chǎn)生廢氣為氟化氫、氨氣、有機(jī)廢氣等廢氣污染物，對(duì)于氟化氫、氨氣等酸堿性廢氣處理采用酸堿中和法即可處理，而對(duì)于有機(jī)廢氣處理方法有很多種，常見主要有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解凈化法，下面天浩洋小編詳細(xì)介紹電子敏感元件廢氣處理方法。

2.1 酸堿性廢氣處理方法

酸性廢氣處理方法是采用“堿液噴淋塔”進(jìn)行處理，以10%的氫氧化鈉溶液為吸收液。堿性廢氣處理方法是采用“酸液噴淋塔”進(jìn)行處理，以10%的硫酸溶液為吸收液。酸性、堿性廢氣洗滌凈化法，在電子行業(yè)生產(chǎn)中應(yīng)用相當(dāng)普遍，具有運(yùn)行穩(wěn)定，處理效果好，投資少，處理費(fèi)用低等優(yōu)點(diǎn)。

2.2 有機(jī)廢氣處理方法

（1）活性炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）來處理有機(jī)廢氣，這樣就能夠通過化學(xué)鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且將其吸附在吸附劑的表面，從而達(dá)到凈化有機(jī)廢氣的目的。吸附法目前主要應(yīng)用于大風(fēng)量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機(jī)廢氣凈化處理。

活性炭?jī)艋矢撸ɑ钚蕴课娇蛇_(dá)到90%以上），實(shí)用遍及，操縱簡(jiǎn)單，投資低。在吸附飽和以后需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費(fèi)用，替換下來的飽和以后的活性炭也是需要找專業(yè)人員進(jìn)行危廢處理，運(yùn)行費(fèi)用高。

（2）燃燒法

燃燒法只在揮發(fā)性有機(jī)物在高溫及空氣充足的條件下進(jìn)行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用于各類有機(jī)廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大于5000mg/m3 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進(jìn)行燃燒，燃燒溫度一般控制在1100℃，處理效率高，可以達(dá)到95％一99％。

熱力燃燒法適合于處理濃度在1000—5000 mg/m3 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或助燃?xì)怏w，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒后產(chǎn)生的廢氣直接外排會(huì)導(dǎo)致二次污染。

通過熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機(jī)廢氣，其凈化率是比較高的，但是其投資運(yùn)營成本極高。因廢氣排放的點(diǎn)多且分散，很難實(shí)現(xiàn)集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很大的占地面積。熱力燃燒比較適合24小時(shí)連續(xù)不斷運(yùn)行且濃度較高而穩(wěn)定的廢氣工況，不適合間斷性的生產(chǎn)產(chǎn)線工況。催化燃燒的投資和運(yùn)營費(fèi)用相對(duì)熱力燃燒較低，但凈化效率也相對(duì)較低一些；但貴金屬催化劑容易因?yàn)閺U氣中的雜質(zhì)（如硫化物）等造成中毒失效，而更換催化劑的費(fèi)用很高；同時(shí)對(duì)廢氣進(jìn)氣條件的控制非常嚴(yán)格，否則會(huì)造成催化燃燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解凈化法

UV光解凈化法利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧（即活性氧），因游離氧所攜帶正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧，臭氧具有很強(qiáng)的氧化性，通過臭氧對(duì)有機(jī)廢氣、惡臭氣體進(jìn)行協(xié)同光解氧化作用，使有機(jī)廢氣、惡臭氣體物質(zhì)降解轉(zhuǎn)化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解凈化法具有高效處理效率，可達(dá)到95%以上；適應(yīng)性強(qiáng)，可適應(yīng)中低濃度，大氣量，不同有機(jī)廢氣以及惡臭氣體物質(zhì)的凈化處理；產(chǎn)品性能穩(wěn)定，運(yùn)行穩(wěn)定可靠，每天可24小時(shí)連續(xù)工作；運(yùn)行成本低，設(shè)備耗能低，無需專人管理與維護(hù)，只需作定期檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設(shè)備性能安全穩(wěn)定，特別適用于化工、制藥等防爆要求高的行業(yè)。

以上關(guān)于電子敏感元件廢氣處理方法介紹，希望可以幫到您，其實(shí)對(duì)于電子敏感元件廢氣處理，一般是需要根據(jù)廢氣的濃度、產(chǎn)生量、廢氣成分、如何收集等方面進(jìn)行設(shè)計(jì)收集處理。如果您有電子敏感元件廢氣需要凈化處理，可以隨時(shí)撥打400 808 2272電話，咨詢天浩洋環(huán)保,為您提供電子敏感元件廢氣處理方案及設(shè)備。